Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Doping hafnium oxide by in-situ precursor mixing

Presentation held at Fachtagung "VAKUUM & PLASMA", V2019, 8. - 10. Oktober 2019, Dresden, Germany
 
: Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, Malte

2019, 8 Folien
Fachtagung "Vakuum & Plasma" <2019, Dresden>
Englisch
Vortrag
Fraunhofer IPMS ()
Anfrage beim Institut / Available on request from the institute bibliothek@ipms.fraunhofer.de

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-603189.html