Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen

 
: Stolz, Michael; Mrosk, A.; Kaiser, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Schenk, H.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik - MEMS-MOEMS - Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz, 28. - 30. Oktober 2019, Berlin
Berlin: VDE-Verlag, 2019
ISBN: 978-3-8007-5090-0
ISBN: 978-3-8007-5129-7
S.366-367
MikroSystemTechnik Kongress <2019, Berlin>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-603169.html