Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Projection mask-less lithography (PML2): First results from the multi beam blanking demonstrator

 
: Eder-Kapl, S.; Haugeneder, E.; Langfischer, H.; Reimer, K.; Eichholz, J.; Witt, M.; Doering, H.-J.; Heinitz, J.; Brandstätter, C.

:

Loeschner, H.:
31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005. Proceedings : 19 - 22 September 2005, Vienna, Austria
Amsterdam: Elsevier, 2006 (Microelectronic engineering 83.2006,4/9)
S.968-971
International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE) <31, 2005, Vienna>
Englisch
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-59925.html