Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

AC powered reactive magnetron deposition of indium tin oxide (ITO) films from a metallic target

 
: Kupfer, H.; Kleinhempel, R.; Graffel, B.; Welzel, T.; Dunger, T.; Richter, F.; Gnehr, W.-M.; Kopte, T.

:

Surface and coatings technology 201 (2006), Nr.7, S.3964-3969
ISSN: 0257-8972
International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF) <33, 2006, San Diego/Calif.>
Englisch
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-59524.html