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Dreidimensionaler Nanostrukturkörper und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Nanostrukturkörpers

 
: Allani, Sonja; Jupe, Andreas; Vogt, Holger; Goehlich, Andreas

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Frontpage ()

DE 102018215255 A1: 20180907
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IMS ()

Abstract
Die Erfindung betrifft einen dreidimensionalen Nanostrukturkörper (200) sowie ein Verfahren zum Erzeugen eines dreidimensionalen Nanostrukturkörpers (200). Das Verfahren beinhaltet unter anderem ein Bereitstellen eines Substrats (203) mit einem Opferschichtstapel (205), wobei der Opferschichtstapel (205) mindestens eine erste und eine zweite Opferschicht (205a, 205b) aufweist, und wobei der Opferschichtstapel (205) mindestens eine Öffnung (207) aufweist, die sich durch den Opferschichtstapel (205) hindurch bis zu dem Substrat (203) erstreckt. Ferner umfasst das Verfahren ein Anordnen einer ersten Materialschicht (201m) an zumindest einer Seitenwand (208) der Öffnung (207), und ein Anordnen einer zweiten Materialschicht (202m) auf der sich innerhalb der Öffnung (207) befindlichen ersten Materialschicht (201m). Erfindungsgemäß beinhaltet das Verfahren ein Entfernen der ersten Opferschicht (205a) und Entfernen von Teilen der ersten Materialschicht (201 m), die zuvor von der ersten Opferschicht (205a) bedeckt waren, unter Beibehaltung der zweiten Materialschicht (202m), und ein Entfernen der zweiten Opferschicht (205b) unter Beibehaltung der ersten und der zweiten Materialschicht (201m, 202m).

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-586252.html