Fraunhofer-Gesellschaft

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Aufbaukonzept für HF-Systeme

 
: Ihle, Martin; Ziesche, Steffen; Zech, Christian; Baumann, Benjamin

:
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DE 102018214126 A1: 20180821
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IAF ()

Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung mit einer Substratstruktur (2), zumindest einem Hochfrequenzschaltkreis auf Basis eines Halbleiter-Substrates (1) bestehend aus zumindest einem Transistor und/oder passiven Bauteil und/oder Leitungselement, einer Direktkontaktierung (3), die einen Metallisierungsbereich (9) auf der Substratstruktur (2) elektrisch leitend mit dem Hochfrequenzschaltkreis (1) verbindet, und wobei die Direktkontaktierung (3) mittels eines maskenlosen Direktschreib-Verfahrens aufgebracht ist.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-586240.html