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Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines Bauelements

 
: Kirbach, Sven; Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Zybell, Sabine; Haufe, Nora

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Frontpage ()

DE 102018213735 A1: 20180815
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Bauelement und ein Verfahren zum Herstellen des Bauelements. Das Bauelement weist mehrere, auf einer ersten Oberfläche (5) des Substrats (1) oder auf einer ersten Oberfläche (5) einer auf dem Substrat (1) aufgebrachten zweiten Elektrodenschicht (10) ausgebildete Gräben (4), eine auf der zweiten Elektrodenschicht (10) und den mehreren Gräben (4) aufgebrachte aktive piezoelektrische Schicht (2) und eine auf die aktive piezoelektrische Schicht (2) aufgebrachte erste Elektrodenschicht (3) auf. Die mehreren Gräben (4) sind in einer piezoelektrisch aktiven Richtung ausgebildet.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-586237.html