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Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Schichten mit verbesserter Uniformität bei Beschichtungsanlagen mit horizontal rotierender Substratführung

Device and method for producing layers with improved uniformity in coating systems with horizontally rotating substrate guiding
 
: Vergöhl, Michael; Pflug, Andreas; Bruns, Stefan; Zickenrott, Tobias

:
Frontpage ()

DE 102018213534 A1: 20180810
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IST ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung von Schichten mit sehr guter Uniformität bei Beschichtungsanlagen mit horizontal rotierender Substratführung. Alternativ können bestimmte Schichtdickengradienten eingestellt werden. Zudem wird die Partikelbelastung deutlich reduziert. Die Standzeit ist gegenüber anderen Verfahren deutlich erhöht. Parasitäre Beschichtungen werden reduziert. Auch die Beschichtungsrate wird erhöht.

 

The invention relates to a device and a method for producing layers with very good uniformity in coating systems with horizontally rotating substrate guiding. Alternatively, certain layer thickness gradients can be set. The particle loading is also significantly reduced. The service life is much higher compared to other methods. Parasitic coatings are reduced. The coating rate is also increased.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-586229.html