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Spannungskontrollierbarer Kondensator mit ferroelektrischer Schicht und Verfahren zum Herstellen des spannungskontrollierbaren Kondensators mit ferroelektrischer Schicht

Voltage-controllable capacitor comprising a ferroelectric layer and method for producing the voltage-controllable capacitor comprising a ferroelectric layer
 
: Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad

:
Frontpage ()

DE 102018213051 A1: 20180803
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft einen spannungskontrollierbaren Kondensator mit einer auf einem Substrat (6) aufgebrachten ersten Elektrodenschicht (4) aus einem nicht-ferroelektrischen Werkstoff, einer ferroelektrischen Zwischenschicht (3), die eine Dicke aufweist, die kleiner ist als die Dicke der ersten Elektrodenschicht (4), und einer zweiten Elektrodenschicht (2) aus einem nicht-ferroelektrischen Werkstoff. Die ferroelektrische Zwischenschicht (3) ist zwischen der ersten Elektrodenschicht (4) und der zweiten Elektrodenschicht (2) angeordnet.

 

The present invention relates to a voltage-controllable capacitor comprising a first electrode layer (4) composed of a non-ferroelectric material, said first electrode layer being applied on a substrate (6), a ferroelectric interlayer (3) having a thickness that is less than the thickness of the first electrode layer (4), and a second electrode layer (2) composed of a non-ferroelectric material. The ferroelectric interlayer (3) is arranged between the first electrode layer (4) and the second electrode layer (2).

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-586221.html