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Spannungskontrollierbarer Kondensator und Verfahren zum Herstellen eines spannungskontrollierbaren Kondensators

 
: Kämpfe, Thomas; Polakowski, Patrick; Seidel, Konrad

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Frontpage ()

DE 102018213050 A1: 20180803
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft einen spannungskontrollierbaren Kondensator mit einem Substrat (5), das mindestens eine gegenüber einer Oberfläche (7) des Substrats (5) vertieft ausgebildete Struktur aufweist. Auf der Oberfläche (7) des Substrats (5) und der Struktur (6) ist eine erste Elektrodenschicht (4) aus einem nicht-ferroelektrischen Werkstoff ausgebildet und auf der ersten Elektrodenschicht (4) eine ferroelektrische Schicht (3) abgeschieden, die eine Dicke aufweist, die kleiner ist als die Dicke der ersten Elektrodenschicht (4). Auf der ferroelektrischen Schicht (3) ist eine zweite Elektrodenschicht (2) aus einem nicht-ferroelektrischen Werkstoff ausgebildet.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-586220.html