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MEMS mit einem beweglichen Strukturelement und MEMS-Array

MEMS having a movable structural element and mems array
 
: Dürr, Peter; Neudert, Andreas

:
Frontpage ()

DE 102018207783 A1: 20180517
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Ein MEMS umfasst ein Substrat mit einem Substratfortsatz, der sich über einer Substratebene erhebt. Das MEMS umfasst ein bewegliches Strukturelement, ein erstes Federelement, das das bewegliche Strukturelement mit dem Substratfortsatz mechanisch verbindet, und ein zweites Federelement, das das bewegliche Strukturelement mit dem Substratfortsatz mechanisch verbindet. Das erste Federelement und das zweite Federelement bilden eine Parallelogrammführung des beweglichen Strukturelementes gegenüber dem Substratfortsatz.

 

The invention relates to a MEMS comprising a substrate having a substrate continuation, which rises above a substrate plane. The MEMS comprises a movable structural element, a first spring element, which mechanically connects the movable structural element to the substrate continuation, and a second spring element, which mechanically connects the movable structural element to the substrate continuation. The first spring element and the second spring element form a parallelogram guide for the movable structural element opposite the substrate continuation.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-586145.html