Fraunhofer-Gesellschaft

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Kontaminationsabweisender Spiegel und Verfahren zu dessen Herstellung

Contamination-repellent mirror and method for producing the same
 
: Schröder, Sven; Felde, Nadja; Coriand, Luisa; Trost, Marcus; Notni, Gunther

:
Frontpage ()

DE 102018110251 A1: 20180427
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Es wird ein kontaminationsabweisender Spiegel (5) beschrieben, umfassend eine auf einem Substrat (1) angeordnete Spiegelschicht (2) und eine nanoraue Schicht (3) auf der Spiegelschicht (2), wobei die nanoraue Schicht (3) eine rms-Rauheit zwischen 1 nm und 50 nm aufweist. Weiterhin ist eine hygrophobe Deckschicht (4) auf der nanorauen Schicht (3) angeordnet oder die hygrophobe Schicht weist ein hygrophobes Material auf. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung des Spiegels (5) beschrieben.

 

A contamination-repellent mirror and a method for producing the same. In an embodiment a contamination-repellent mirror includes a mirror layer disposed on a substrate, wherein the mirror layer has a reflection maximum in a wavelength range between 1 nm and 50 nm, a nanorough layer arranged on the mirror layer, wherein the nanorough layer has an rms roughness between 1 nm and 50 nm, and wherein a hygrophobic cover layer is arranged on the nanorough layer or the nanorough layer comprises a hygrophobic material.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-586128.html