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Sensoranordnung und Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung

 
: Mart, Clemens; Polakowski, Patrick; Kämpfe, Thomas; Weinreich, Wenke

:
Frontpage ()

DE 102018201383 A1: 20180130
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoranordnung und ein Verfahren zum Herstellen der Sensoranordnung. Die Sensoranordnung weist ein Substrat (5), das mindestens eine gegenüber einer Oberfläche des Substrats (5) vertieft ausgebildeten Struktur (6) aufweist, eine auf der Oberfläche des Substrats (5) und auf der Struktur (6) ausgebildeten ersten Elektrodenschicht (4), eine auf der ersten Elektrodenschicht (4) ausgebildeten pyroelektrischen Schicht (3) und eine auf der pyroelektrischen Schicht (3) ausgebildeten zweiten Elektrodenschicht (2) auf.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-586034.html