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Title
Sensoranordnung und Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung
Date Issued
2019
Author(s)
Patent No
102018201383
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoranordnung und ein Verfahren zum Herstellen der Sensoranordnung. Die Sensoranordnung weist ein Substrat (5), das mindestens eine gegenüber einer Oberfläche des Substrats (5) vertieft ausgebildeten Struktur (6) aufweist, eine auf der Oberfläche des Substrats (5) und auf der Struktur (6) ausgebildeten ersten Elektrodenschicht (4), eine auf der ersten Elektrodenschicht (4) ausgebildeten pyroelektrischen Schicht (3) und eine auf der pyroelektrischen Schicht (3) ausgebildeten zweiten Elektrodenschicht (2) auf.
Language
de
Patenprio
DE 102018201383 A1: 20180130