Fraunhofer-Gesellschaft

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Ionenmobilitätsspektrometer mit FAIMS-Filter in MEMS-Technologie

MEMS-based FAIMS ion filter for an ion mobility spectrometer
 
: Graf, Alexander; Hild, Olaf Rüdiger

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik - MEMS-MOEMS - Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz, 28. - 30. Oktober 2019, Berlin
Berlin: VDE-Verlag, 2019
ISBN: 978-3-8007-5090-0
ISBN: 978-3-8007-5129-7
S.328-331
MikroSystemTechnik Kongress <2019, Berlin>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
Der Nachweis kritischer Substanzen in der Umweltanalytik, die Identifikation von Markern im Bereich der biomedizinischen Sensorik erfordert anpassbare und miniaturisierte Sensorkonzepte. Auf derartigen Sensoren basierende Systeme bieten das Potential, in Zukunft neue hochvolumige Applikationen zu erschließen. Die Ionenmobilitätsspektrometrie IMS ermöglicht eine selektive Detektion von niedrigkonzentrierten Analyten wie Aceton oder Benzol im ppm bis ppb-Bereich direkt in Luft. In Kombination mit MEMS-Technologien und der Anwendung eines speziellen FAIMS-Ionenfilters wurde ein neues Bauelementkonzept abgeleitet und in eine erste Chipgeneration umgesetzt. Erste Ergebnisse zeigen die prinzipielle Funktion. Der am Fraunhofer IPMS entwickelte IMS-Chip stellt eine aussichtsreiche Basis dar, um innovative Systeme entwickeln und neue Anwendungen adressieren zu können.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-574846.html