Fraunhofer-Gesellschaft

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Modellbildung für das Ultraschall-Drahtbonden

 
: Unger, Andreas; Althoff, Simon; Brökelmann, Michael; Hunstig, Matthias; Meyer, Tobias

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Sextro, Walter:
Intelligente Herstellung zuverlässiger Kupferbondverbindungen : Abschlussbericht zum Spitzenclusterprojekt InCuB
Berlin: Springer Vieweg, 2019 (Intelligente Technische Systeme - Lösungen aus dem Spitzencluster it’s OWL)
ISBN: 978-3-662-55145-5 (Print)
ISBN: 978-3-662-55146-2 (Online)
S.17-44
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IWES ()

Abstract
Um eine modellbasierte Mehrzieloptimierung des Bondprozesses durchführen zu können, ist ein vollständiges Modell des abzubildenden Systems Voraussetzung, in diesem Fall also ein Modell des gesamten Ultraschall-Drahtbondprozesses. Das in diesem Kapitel vorgestellte Gesamtmodell ist aus Teilmodellen modular aufgebaut, die auch separat genutzt und validiert werden. Dabei werden die drei wichtigsten Aspekte beim Ultraschall-Drahtbonden aufgegriffen: Die Bestimmung der Kontaktdrücke zwischen Draht und Substrat, die Prozessdynamik und die Berechnung der Reibung und Anbindung.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-565741.html