Fraunhofer-Gesellschaft

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Mikrostrukturierung für super-hydrophobe Oberflächen in Electrowetting

 
: Türk, Semih; Jupe, Andreas; Viga, Reinhard; Vogt, Holger

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik - MEMS-MOEMS - Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz, 28. - 30. Oktober 2019, Berlin
Berlin: VDE-Verlag, 2019
ISBN: 978-3-8007-5090-0
ISBN: 978-3-8007-5129-7
S.762-765
MikroSystemTechnik Kongress <2019, Berlin>
Deutsche Forschungsgemeinschaft DFG
325152037; EWALD
Elektrobenetzung mit Atomlagenabscheidung
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS ()

Abstract
In dieser Arbeit wird der Einfluss von freistehenden mikrostrukturierten ALD-Schichten auf die hydrophobe Oberflächeneigenschaft untersucht. Hierzu werden mit einer Opferschichttechnik freitragende Strukturen erzeugt. Zur Beeinflussung der Benetzung wird die Dichte der Mikrostrukturen variiert. Die experimentell gemessenen Werte für den Kontaktwinkel sind in guter Übereinstimmung mit den analytisch berechneten Werten. Für einen Abstand von b = 2 µm, 5 µm und 10 µm beträgt der Kontaktwinkel qexp = 139, 9°, 147,3° und 151,8°.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-565393.html