Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Mikromechanischer Ultraschallwandler aus Silizium

Silicon micromachined ultrasonic transducers
 
: Jia, C.

Chemnitz, 2005, 125 S.
Chemnitz, TU, Diss., 2005
URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200501754
Englisch
Dissertation
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-56206.html