Publica

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Elektrisch isolierende und piezoelektrisch aktive Schichten

Für Anwendungen in Sensorik, Elektronik und Medizintechnik

: Barth, Stephan; Hildisch, Jan; Bartzsch, Hagen

	GIT. Labor-Fachzeitschrift 7 (2019), S.40-43 ISSN: 0016-3538

	Deutsch
	Zeitschriftenaufsatz
	Fraunhofer FEP ()
	Sensorik; Elektronik; Piezoelektronik; Schichten

Abstract
Sehr viele Anwendungen und Produkte basieren heutzutage bereits auf der Dünnschichttechnik. Durch innovative Beschichtungstechnologien, Materialien und Materialkombinationen werden neue Anwendungen und Produkte in den Bereichen Optik, Elektronik, Sensorik, Energie- und Medizintechnik oftmals überhaupt erst möglich. Die Anforderungen an die Schichten und Schichtsysteme sind dabei vielfältig und anspruchsvoll.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-559156.html