Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Inspektion technischer Oberflächen

Surface inspection
 
: Rochowicz, M.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2001 : 14. und 15. Mai 2001, Stuttgart
Stuttgart: IPA, 2001
Meßtechnisches Praktikum <2001, Stuttgart>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IPA ()
Kontaminationsüberwachung; Partikelzähler; Partikelemission; Kontamination; Reinraumtechnik

Abstract
In der Fertigung unter reinen Bedingungen spielt die Überwachung der Oberflächenreinheit von Produkten oder der Produktumgebung eine zentrale Rolle. Es werden typische Oberflächen, wie sie in Reinräumen anzutreffen sind, so wie die Einflussgrößen denen sie ausgesetzt sind, vorgestellt. Zur Überwachung dieser Oberflächen stehen eine ganze Reihe von Inspektionsverfahren zur Verfügung. Diese lassen sich grob in zwei Gruppen unterteilen: Messgeräte zur Erfassung von partikulären Kontaminationen und Messgeräte zum Nachweis von filmischen Kontaminationen. Weiterhin wird ein am Fraunhofer IPA entwickelter Oberflächenpartikelzähler vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-5526.html