Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Sauber und rein in der Fertigung

Metallverarbeitung mit Reinraum- und Sauberraumtechnik
 
: Rochowicz, Markus; Ernst, Christian

Metalloberfläche : mo 61 (2007), Nr.4, S.24-27
ISSN: 0026-0797
ISSN: 0043-2792
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Sauberkeit; Partikelgröße; Reinheit; Reinraumtechnik; Metallverarbeitung; Fertigung; Halbleiter; Silicium

Abstract
In zahlreichen Branchen ist eine Produktion ohne den Einsatz von Reinraumtechnik nicht mehr denkbar. Die höchsten Anforderungen an die Sauberkeit, die auch in Zukunft noch weiter steigen werden, stellt mit Sicherheit die Halbleitertechnik. Die Dimension der Silizium-Halbleiterstrukturen, die das Maß für die kritische Partikelgröße festlegen, liegen dabei weit unterhalb der 100-Nanometermarke.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-55114.html