Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Development of a MEMS technology for the monolithic post-CMOS integration of capacitive pressure sensors

 
: Walk, Christian
: Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried

Duisburg-Essen, 2018, X, 195 S.
Duisburg-Essen, Univ., Diss., 2018
Englisch
Dissertation
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-549207.html