Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten

 
: Szyszka, B.

JOT + Oberfläche. Journal für Oberflächentechnik (1999), Nr.11, S.VI-XII
ISSN: 0940-8789
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IST ()
Mittelfrequenz-Sputtern; TCO-Schichtsysteme

Abstract
Transparente und leitfähige Oxide (TCOs) vereinen die optischen Eigenschaften von dielektrischen Materialien mit den elektrischen Eigenschaften von Metallen. Dadurch erfüllen TCO-Schichtsysteme Schlüsselfunktionen für zahlreiche optoelektronische Anwendungen. Erst das reaktive Magnetronsputtern bietet eine Möglichkeit, um derartige Schichtsysteme mit hoher Qualität kostengünstig und großflächig herzustellen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-548.html