Fraunhofer-Gesellschaft

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Werkstoffe für den Einsatz in reinen Bereichen

Verfahren zur Beurteilung des Partikelemissionsverhaltens bei tribologischer Belastung
Materials for use in clean conditions - Method using tribological loading to assess emission particle behavior
 
: Westkämper, Engelbert; Smolinski, Dirk; Kreck, Guido; Gommel, Udo

wt Werkstattstechnik online 97 (2007), Nr.3, S.130-135
https://www.werkstattstechnik.de/wt/
ISSN: 1436-4980
ISSN: 1436-5006
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPA ()
Mikrosystemtechnik; Partikelemission; Werkstoffauswahl; cleanroom; tribology; Teilchen; Reinraum; Werkstoffprüfung; Qualitätssicherung; Tribologie

Abstract
Im Reinraum eingesetzte Anlagen sind so zu gestalten, dass die von ihnen ausgehende Partikelemission minimal ist. Die Partikelemission kann vor allem durch eine geeignete Werkstoffauswahl der aneinander reibenden Komponenten reduziert werden. Hierfür stehen bislang aber noch keine substanziierten Werkstofflisten zur Verfügung. Abhilfe schafft gegenwärtig ein vom Fraunhofer IPA entwickeltes Verfahren zur Beurteilung der Partikelemission von Werkstoffpaarungen bei tribologischer Belastung.

 

Equipment used in cleanrooms has to be designed in such a way so as to minimise particulate emission from them. Particle emission can be especially reduced by selecting suitable materials for components which rub against one another. However, up till now there have been no substantiated lists of suitable materials available. A solution has now been found to the problem by the Fraunhofer IPA which has developed a standardized procedure for assessing particle emissions from material pairings during tribological stress.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-54540.html