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Beschichtungsverfahren: Tl.6 - Sputter-Abscheidung 1
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2006
Journal Article
Titel
Beschichtungsverfahren: Tl.6 - Sputter-Abscheidung 1
Author(s)
Schultrich, B.
Zeitschrift
Vakuum in Forschung und Praxis
DOI
10.1002/vipr.200690072
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS