Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Beschichtungsverfahren: Tl.6 - Sputter-Abscheidung 1

 
: Schultrich, B.

:

Vakuum in Forschung und Praxis 18 (2006), Nr.6, S.30-31
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IWS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-54361.html