Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Hochionisierte Abscheideverfahren für Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis

 
: Bandorf, R.

:

JOT. Journal für Oberflächentechnik 59 (2019), Supplement 1, S.29-31
ISSN: 0940-8789
ISSN: 0021-3756
ISSN: 2192-869X
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IST ()

Abstract
Diamantartige Kohlenstoffschichten nehmen aufgrund ihrer hohen Härte und geringen Reibung eine zentrale Rolle ein, speziell im Bereich der Reibungs- und Verschleißminderung. Hochionisiertes Magnetronsputtern bietet hier die Möglichkeit, glatte Schichten mit sehr guten Eigenschaften zu realisieren.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-538089.html