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Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Halbleitertechnologie

Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse für Anwendungen in der Siliziumtechnologie
 
: Altmannshofer, Stephan
: Kutter, C.; Eisele, I.

Stuttgart: Fraunhofer Verlag, 2019, IX, 214 S.
Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2018
ISBN: 978-3-8396-1443-3
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer EMFT ()
electronic devices & materials; plasma physics; solid state chemistry; Mikrowellenplasma; PECVD; Halbleitertechnologie; Spektralellipsometer; Epitaxie; Elektroingenieur; Physiker; Chemiker; Nanotechnologe

Abstract
In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden Ätz- und Abscheideprozesse erforscht, die in der Halbleitertechnologie nötig sind. Dabei wird darauf geachtet, dass die Prozesstemperatur sehr gering ist. Durch die in der Arbeit untersuchten plasmaunterstützten Prozesse, kann eine epitaktische Siliziumschicht bereits bei 450 °C abgeschieden werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-537728.html