Fraunhofer-Gesellschaft

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Entwicklung einer neuartigen Plasmafiltertechnik für die Abscheidung defektarmer superharter Kohlenstoffschichten

 
: Englberger, Gregor
: Beyer, Eckhard; Leyens, Christoph

:
Volltext ()

Dresden, 2018, 126 S.
Dresden, TU, Diss., 2018
URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-331335
Deutsch
Dissertation, Elektronische Publikation
Fraunhofer IWS ()
Plasmafilter; ta-C-Schichten; Kohlenstoffschicht; PVD; DLCIm

Abstract
Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung eines Plasmafilters für die Herstellung defektarmer wasserstofffreier Kohlenstoffschichten (ta-C) auf Basis einer leistungsfähigen gepulsten Vakuumbogentechnologie sowie der Charakterisierung der mit dieser Technologie abgeschiedenen Schichten.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-537374.html