Fraunhofer-Gesellschaft

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Hochionisiere Abscheideverfahren für Sensor- und Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis

Hochionisierte Abscheideverfahren für Sensor- und Hartstoffschichten auf Kohlenstoffbasis
 
: Bandorf, R.

:

JOT. Journal für Oberflächentechnik 58 (2018), Nr.6, S.78-80
ISSN: 0940-8789
ISSN: 0021-3756
ISSN: 2192-869X
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IST ()
dünne Schicht; DLC-Schicht

Abstract
Diamantartige Kohlenstoffschichten nehmen aufgrund ihrer hohen Härte und geringen Reibung eine zentrale Rolle ein, speziell im Bereich der Reibungs- und Verschleißminderung. Darüber hinaus weisen die Schichten ein hohes Potenzial als Sensorschicht in rauer Umgebung auf. Somit bieten sich sehr gute Alternativen für die Abscheidung hochwertiger glatter Schichten.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-534827.html