Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Multiscale residual stress analysis in thin film layers

 
: Weißbach, M.; Auerswald, E.; Hildebrandt, M.; Rzepka, S.

Otto, T. ; Messe Frankfurt; Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme -ENAS-, Chemnitz; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
Smart Systems Integration 2018. International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems : Dresden, Germany, 11 - 12 April 2018
Auerbach /Vogtl.: Verlag Wissenschaftliche Scripten, 2018
ISBN: 978-3-95735-082-4
ISBN: 3-95735-082-4
ISBN: 978-1-5108-6771-0 (Ausgabe bei Curran)
S.515-518
International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems <2018, Dresden>
Smart Systems Integration Conference (SSI) <2018, Dresden>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-531657.html