Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Subnanometer calibration of diffractive micromirror arrays

 
: Sicker, C.; Heber, J.; Berndt, D.

Saastamoinen, Kimmo (Ed.) ; European Optical Society -EOS-:
EOSAM 2018, European Optical Society Biennial Meeting. Proceedings : 8 - 12 October 2018, Delft, Netherlands
Orsay: EOS, 2018
ISBN: 978-952-68553-7-0
S.428-429
European Optical Society (EOSAM Biennial Meeting) <2018, Delft>
Englisch
Abstract
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-531393.html