Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Aspects of high aspect ratio silicon etching - capacitor application

Presentation held at VDI GMM Workshop 2018, December 5th, Erlangen, Germany
 
: Rudolph, Matthias; Pätzold, Björn; Czernohorsky, Malte

2018, 20 S.
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Fachtagung) <2018, Erlangen>
Englisch
Vortrag
Fraunhofer IPMS ()
Anfrage beim Institut / Available on request from the institute bibliothek@ipms.fraunhofer.de

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-531392.html