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MEMS basierte Ultraschallwandler für die Anwendung in flüssigen und gasförmigen Umgebungen und Möglichkeiten der CMOS Integration

Vortrag gehalten auf der microTEC Südwest Clusterkonferenz 2018, 16-17 April 2018, Freiburg
 
: Lange, Nicolas; Grafe, Mario; Koch, Sandro; Kaden, Christiane; Schulze, Matthias

2018
MicroTEC Südwest Clusterkonferenz <2018, Freiburg>
Deutsch
Vortrag
Fraunhofer IPMS ()
Anfrage beim Institut / Available on request from the institute bibliothek@ipms.fraunhofer.de

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-531387.html