Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

FunALD: Funktionale ultradünne Werkstoffe durch Atomlagenabscheidung für die nächste Generation der Nanosystemtechnik

 
: Dietz, Dorothee

:
Volltext (PDF; )

NMWP - Magazin für Nanotechnologie, Mikrosystemtechnik, Neue Werkstoffe und Photonik (2018), Nr.2, S.20-21
European Commission EC
EFRE-Leitmarktwettbewerb NeueWerkstoffe.NRW; 0800656; FunALD
Funktionale ultradünne Werkstoffe durch Atomlagenabscheidung für die nächste Generation der Nanosystemtechnik
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz, Elektronische Publikation
Fraunhofer IMS ()

Abstract
Das Ziel ist klar definiert: Im Projekt "FunALD" soll eine neue Klasse
ultradünner funktionaler Materialien auf Basis der ALD-Technologie
entwickelt werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-530994.html