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Analyseeinrichtung

 
: Janes, Joachim

:
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DE 102016226212 A1: 20161223
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf eine Analyseeinrichtung für eine oder mehrere Proben (5) mit einer Beleuchtungseinrichtung(1a, 2) zum Beleuchten von Proben (5) oder Abschnitten von Proben (5) zeitlich nacheinander mit einem Beleuchtungsstrahl (1, 3, 6) und mit einer Detektionseinrichtung (8) zur Detektion von Sekundärstrahlung (6, 16, 41, 42, 51, 52), die infolge der Beleuchtung von der beleuchteten Probe oder dem beleuchteten Abschnitt in Form eines Sekundärstrahls in Richtung der Detektionseinrichtung (8) ausgeht, wobei die Beleuchtungseinrichtung eine Umlenkeinrichtung (2), insbesondere einen regelbaren oder steuerbaren 2D-Scanner, weiter insbesondere einen MEMS-Scanner, zur Umlenkung des Beleuchtungsstrahls (1, 3, 6) zu der oder den Proben (5) aufweist und wobei im Lichtweg des Beleuchtungsstrahls und/oder im Lichtweg des Sekundärstrahls (6, 16, 41, 42, 51, 52), ein Paraboloidspiegel (7, 40) angeordnet ist.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-530852.html