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Anordnung und Verfahren zur winkelaufgelösten Streulichtmessung mittels einer Wellenleiter-Sonde

 
: Janzen, Christoph

:
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DE 102016211471 A1: 20160627
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer ILT ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung und ein Verfahren zur winkelaufgelösten Streulichtmessung. Zentrales Element ist ein Mess-Substrat aus einem optisch transparenten Material, das eine durchgängige Ausnehmung zur Bildung eines Messvolumens aufweist. In das Substrat sind mehrere von der Ausnehmung ausgehende optische Wellenleiter integriert, die sich zwischen der Ausnehmung und Ein- oder Auskoppelflächen am Mess-Substrat erstrecken und an der Ausnehmung auf einen gemeinsamen Messort im Messvolumen ausgerichtet sind. Die optischen Wellenleiter sind dabei durch lokale Änderung des Brechungsindex des optisch transparenten Materials des Mess-Substrats mittels Kurzzeit-Laserpulsen in dem Mess-Substrat erzeugt. Aufgrund dieser Ausgestaltung der Wellenleiter wird eine hohe Winkelauflösung bei gleichzeitig starker Miniaturisierbarkeit des Mess-Substrats ermöglicht. Damit lassen sich Inline-Messungen mit hoher Winkelauflösung auch in stark konzentrierten Proben vornehmen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-530622.html