Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Scaling up integration of carbon nanotubes into Micro-Electro-Mechanical systems
| Otto, T. ; Messe Frankfurt; Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme -ENAS-, Chemnitz; Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration -IZM-, Berlin:
Smart Systems Integration 2018. International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems : Dresden, Germany, 11 - 12 April 2018
Auerbach /Vogtl.: Verlag Wissenschaftliche Scripten, 2018
ISBN: 978-3-95735-082-4
ISBN: 3-95735-082-4
ISBN: 978-1-5108-6771-0 (Ausgabe bei Curran)
S.243-249 |
| International Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems <2018, Dresden>
Smart Systems Integration Conference (SSI) <2018, Dresden> |
|
| Englisch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer ENAS () |