Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff

 
: Dittmar, N.; Kuechler, M.; Meinecke, C.; Reuter, D.; Otto, T.

Mehner, J. ; TU Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik:
14. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 2018 : Chemnitz, 23./24. Oktober 2018
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2018
ISBN: 978-3-00-060648-9
S.125-130
Fachtagung Mikrosystemtechnik <14, 2018, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-519969.html