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Realisierung eines hochauflösenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlängen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen

 
: Freiberger, R.

Aachen, 2017, 193 S.
Aachen, TH, Diss., 2017
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer ILT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-519711.html