Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Related deposition methods

 
: Schultrich, Bernd

:

Schultrich, Bernd:
Tetrahedrally Bonded Amorphous Carbon Films I : Basics, Structure and Preparation
Berlin: Springer, 2018 (Springer series in materials science 263)
ISBN: 978-3-662-55925-3 (Print)
ISBN: 978-3-662-55927-7 (Online)
DOI: 10.1007/978-3-662-55927-7
S.661-678
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IWS ()

Abstract
The plasma arising from pulse laser excitation (for sufficient high intensities and especially with excimer lasers) resembles the plasma of vacuum arc discharges.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-519488.html