Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Vacuum arc with particle filtering

 
: Schultrich, Bernd

:

Schultrich, Bernd:
Tetrahedrally Bonded Amorphous Carbon Films I : Basics, Structure and Preparation
Berlin: Springer, 2018 (Springer series in materials science 263)
ISBN: 978-3-662-55925-3 (Print)
ISBN: 978-3-662-55927-7 (Online)
DOI: 10.1007/978-3-662-55927-7
S.493-526
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Driving the cathode spots over the target surface by strong external or intrinsic magnetic fields allows to reduce, but not to suppress the emission of target splinters.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-519483.html