Fraunhofer-Gesellschaft

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Influence of deposition conditions

 
: Schultrich, Bernd

:

Schultrich, Bernd:
Tetrahedrally Bonded Amorphous Carbon Films I : Basics, Structure and Preparation
Berlin: Springer, 2018 (Springer series in materials science 263)
ISBN: 978-3-662-55925-3 (Print)
ISBN: 978-3-662-55927-7 (Online)
DOI: 10.1007/978-3-662-55927-7
S.273-298
Englisch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IWS ()

Abstract
The influence of the deposition conditions on the structure and the properties of the resulting amorphous carbon films is summarized in a number of reviews.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-519479.html