Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Stress induced leakage current mechanism in thin Hf-silicate layers

 
: Paskaleva, A.; Lemberger, M.; Bauer, A.J.

:

Applied Physics Letters 92 (2007), Nr.4, Art. 042105, 3 S.
ISSN: 0003-6951
ISSN: 1077-3118
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-51691.html