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2000
Conference Paper
Titel
Grundlegende Untersuchungen zur Eigenspannungsmessung im Mikrometerbereich durch Korrelation magnetischer Prüfgrößen mit experimentell ermittelten Dehnungs- und Spannungsfeldern
Abstract
Die zunehmende Miniaturisierung von Bauteilen in der Mikromechanik und auch in der Mikroelektronik führt zu einem verstärkten Interesse an Eigenspannungsmessungen mit hoher lateraler Auflösung. Im Rahmen eines DFG-Forschungsvorhabens wurde die Grundlage für eine quantitative Eigenspannungsmeßmethode im Mikrometerbereich erarbeitet, die weniger zeit- und kostenintensiv als die röntgenographische Ermittlung von Mikroeigenspannungen ist. Mit dem Barkhausen- und Wirbelstrommikroskop (BEMI) steht erstmals ein leistungsfähiges Prüfsystem zur Verfügung, das nach entsprechender Kalibrierung zur berührungslosen, ortsaufgelösten Eigenspannungsmessung im µm-Bereich eingesetzt werden kann.