Fraunhofer-Gesellschaft

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Development of microsystem technologies for a monolithically integrated programmable aperture plates system used in maskless 45nm e-beam lithography tools

 

Zengerle, R. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
Mikrosystemtechnik Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg
Berlin: VDE-Verlag, 2005
ISBN: 3-8007-2926-1
ISBN: 978-3-8007-2926-5
S.287-290
Mikrosystemtechnik Kongress <2005, Freiburg>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-51225.html