Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mask manufacture for projection mask-less lithography (PML2)

MEMS-technology for a programmable aperture plate system
 
: Reimer, K.; Witt, M.; Kähler, D.; Eichholz, J.; Ratzmann, L.; Brünger, W.; Döring, H.-J.; Haugeneder, E.; Eder-Kapl, S.; Nowak, R.

:

Behringer, U.F.W. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
EMLC 2005 : 21th European Mask and Lithography Conference. Proceedings : 31 January - 3 February 2005, Dresden, Germany
Bellingham/Wash.: SPIE, 2005 (SPIE Proceedings Series 5835)
ISBN: 0-8194-5830-9
S.196-204
European Mask and Lithography Conference (EMLC) <21, 2005, Dresden>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-51220.html