Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Proof-of-concept tool development for projection mask-less lithography (PML2)

 
: Döring, H.-J.; Elster, T.; Heinitz, J.; Fortagne, O.; Brandstätter, C.; Haugeneder, E.; Eder-Kapl, S.; Lammer, G.; Löschner, H.; Reimer, K.; Eichholz, J.; Saniter, J.

:

Mackay, R.S. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Emerging lithographic technologies IX. Vol.1 : 1 - 3 March 2005, San Jose, California, USA
Bellingham/Wash.: SPIE, 2005 (SPIE Proceedings Series 5751)
ISBN: 0-8194-5731-0
S.355-365
Conference "Emerging Lithographic Technologies" <9, 2005, San Jose/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ISIT ()
Fraunhofer HHI ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-51206.html