Fraunhofer-Gesellschaft

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Aerospin - aerostatisch, synchron und hochgenau

Präzisionsspindelentwicklungen für die Leiterplatten- und Waferbearbeitung
Aerospin - aerostatic, synchron and highly precise: Development of high precision spindles for the manufacturing of circuit boards and silicon wafers
 
: Brecher, C.; Mayer, A.; Schug, R.; Slotta, G.; Thaler, W.

wt Werkstattstechnik online 95 (2005), Nr.6, S.459-464
https://e-paper.vdi-fachmedien.de/werkstattstechnik/
ISSN: 1436-4980
ISSN: 1436-5006
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPT ()

Abstract
Die Halbleiter- und die Elektronikindustrie stellen heutzutage höchste Herausforderungen an Werkzeugspindeln zur Planbearbeitung monokristalliner Siliziumwafer mit Planparallelitäten kleiner 1µm oder zur Mikrobearbeitung mit Spindeldrehzahlen deutlich über 200000 min-1. Im vom BMBF geförderten Verbundprojekt "Aerospin" entwickelte ein Konsortium eine Reihe von hochpräzisen Luftlagerspindeln. Lagertechnik, Leichtbau und Antriebsentwicklung standen dabei im Fokus der Arbeiten.

 

The semiconductor and electronic industry place highest challenges at tool spindles for the treatment of silicon wafer with plan parallelisms smaller than 1µm and for the treatment of printed circuit boards with numbers of revolutions clearly over 200000 min-1. With in the public founded project "Aerospin" a consortium has developed a set of highly precise air bearing spindles. Thereby the focus was put on aerostatic bearing design, lightweight construction and innovative drive solutions.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-50616.html