Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Klein, kleiner, Nano. Optische Oberflächenmessverfahren zur Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen

 
: König, Niels; Schmitt, Robert H.

Inspect 19 (2018), Nr.3, S.50-52
ISSN: 1616-5284
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPT ()
Fertigungsmesstechnik; Oberflächentechnik; optische Messtechnik

Abstract
Im Gegensatz zu den in der Industrie üblicherweise eingesetzten taktilen Systemen zur Oberflächenmessung eignen sich optische Verfahren sehr gut für die Beurteilung von Oberflächen, da sie meist auch eine direkte visuelle Repräsentation der Oberfläche ermöglichen.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-499982.html