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Reinraum- und Reinheitstauglichkeit - Begriffe, Testverfahren, Prüfungen

 
: Gommel, Udo; Bürger, Frank; Keller, Markus

:

Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.):
Reinraumtechnik : 4. Auflage
Berlin: Springer, 2018
ISBN: 978-3-662-54914-8 (Print)
ISBN: 978-3-662-54915-5 (Online)
ISBN: 3-662-54914-X
S.725-768
Deutsch
Aufsatz in Buch
Fraunhofer IPA ()
Werkstoff; Reinraumtauglichkeit; Partikelemission; chemische Beständigkeit; Reinheitstauglichkeit; Ausgasung; Volatile Organic Compounds (VOC)

Abstract
Die Auswahl geeigneter Reinheitstechnik für das Produzieren unter reinen Bedingungen beginnt meist mit der Auswahl geeigneter Reinräume. Doch damit ist im Allgemeinen nur ein Teilaspekt erfüllt, da zum Erfolg der Durchführung sauberkeitsempfindlicher Prozesse eine Vielzahl von Einflussfaktoren und -komponenten aufeinander abgestimmt sein müssen. Das Fertigen unter reinen Bedingungen wird oft mit der Bereitstellung von Reinraumtechnik, d. h. einer gebäudetechnischen Luftaufbereitungstechnik, gleichgesetzt. Die hinter einem Reinraum stehende Luftaufbereitungstechnik filtert unerwünschte Kontaminationen - meist auf Partikel beschränkt - aus der Zuluft. Dass fälschlicherweise häufig mit der Spezifikation eines Reinraums begonnen wird, liegt meist daran, dass zum einen die Bereitstellung eines hochwertigen Reinraums als Grundvoraussetzung angesehen wird und zum anderen die Qualität der angebotenen Reinräume sich anhand etablierter Regelwerke (z. B. ISO 14644-1) sehr gut spezifizieren und auswählen lässt. Stattdessen sollte das Anforderungsprofil des reinheitskritischen Prozesses im Mittelpunkt stehen, ein Vorgehen, das weit mehr als nur die Auswahl eines nach ISO 14644-1 spezifizierten Reinraums erfordert, und diesen auch auf eine geringere Prioritätsstufe der Entscheidungsfindung stellt.
Der weitaus schwierigere Anteil, bei dem noch Entwicklungs- und Forschungsarbeit zu leisten ist, ist die Auswahl geeigneter Fertigungsanlagentechnik und Betriebsmittel, die einen Einfluss auf sauberkeitsempfindliche Fertigungsschritte haben. Um ein aus reinheitstechnischer Sicht aufeinander abgestimmtes und ausgewogenes System aus der gebäudetechnischen Luftaufbereitungstechnik und den Betriebsmitteln zu erhalten, müssen letztere die Anforderungen und Aspekte der Reinraum- und Reinheitstauglichkeit erfüllen. Alle Betriebsmittel, von komplexen Prozessanlagen bis hin zu Werkstoffen, die in vorbenannter Anlagentechnik zum Einsatz kommen, müssen dabei betrachtet werden.
Zur Auswahl reinraumtauglicher Werkstoffe sind unter anderem folgende Parameter dabei von Interesse: Partikelemissionsverhalten unter tribologischer Belastung, Ausgasungsverhalten insbesondere von flüchtigen organischen Verbindungen (VOC), Abreinigbarkeit und chemische Beständigkeit.
Dieser Artikel gibt einen Überblick über spezifische Anforderungen an reine Produktionsmittel in verschiedenen Industriebranchen, erläutert Prozeduren zur Tauglichkeitsprüfung und beschreibt die Einordnung der Prüfergebnisse in vorhandene Klassifizierungssysteme.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-497341.html