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Beschichtung von Verbindungselementen mittels Hochrate-Vakuumbeschichtung von Schüttgut
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2018
Journal Article
Titel
Beschichtung von Verbindungselementen mittels Hochrate-Vakuumbeschichtung von Schüttgut
Author(s)
Klostermann, Heidrun
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Zeitschrift
WOMag
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Tags
Schüttgut
Vakuumbeschichtung
Oberflächen